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钼栅

可订制各种规格的平面和弧度钼栅。钼栅直径600mm圆孔精度可达±0.01,弧度可高达35mm。离子束辐射面积大,束流不均匀性在2%以内。

钼栅产品作为离子源栅极,被广泛应用于真空镀膜机,半导体刻蚀机,离子清洗机,电推进等高端真空设备。
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